Высокочистые металлы для вакуумных и тонкопленочных процессов
Чистый материал, контролируемые размеры и надежная подготовка для передового производства.
Где характеристики материала действительно важны
Пленки на основе титана, никеля и циркония используются в контактах, барьерных слоях, геттерах, покрытиях и исследовательских устройствах. Фольга, пруток и проволока обычно поставляются как высокочистый исходный материал, вакуумная арматура, материал для испарения или прецизионные компоненты, а не устанавливаются напрямую как массивный материал внутри готового чипа.
Титан, никель и цирконий
Эти материалы не являются взаимозаменяемыми. Правильный выбор зависит от детали, среды, температуры, нагрузки, способа соединения и применимой спецификации.
Титан
Титан и титановые соединения поддерживают применения в контактах, адгезионных слоях, барьерах, геттерах и вакуумном оборудовании.
Никель
Высокочистый никель используется в электродах, контактных слоях, магнитных системах, нагревателях и вакуумном технологическом оборудовании.
Цирконий
Цирконий используется выборочно в геттерных системах, функциональных пленках, составных мишенях и исследованиях высокого вакуума.
Применение фольги, прутка и проволоки
Практическое руководство по закупке для инженеров и покупателей. Окончательную пригодность необходимо подтверждать по спецификации, рабочей среде и маршруту изготовления.
| Материал | Фольга и лента | Пруток и круг | Проволока |
|---|---|---|---|
| Титан | Вакуумные экраны, прецизионные прокладки, материалы для осаждения, экспериментальные подложки и формованные компоненты камер. | Материалы для испарения, заготовки под мишени, вакуумно-совместимая оснастка и обработанная коррозионностойкая арматура. | Проволока для испарения, геттерные элементы, опоры вакуумных печей, исследовательский исходный материал и прецизионные электрические детали. |
| Никель | Электроды, контактные слои, магнитные ламинаты, экранирование, материалы для осаждения и прецизионные диафрагмы. | Материал для испарения, заготовки под мишени, обработанные вакуумные детали, электрические контакты и компоненты печей. | Нагревательные элементы, электроды, выводная проволока, источники испарения, вакуумные соединения и сенсорные сборки. |
| Цирконий | Геттерная фольга, материалы для осаждения, исследования специальных функциональных слоев и компоненты вакуумной очистки. | Высокочистый материал для испарения, заготовки под мишени, геттерные сборки и обработанные вакуумные компоненты. | Геттерные элементы, материалы для испарения, специализированные вакуумные устройства и лабораторные программы по тонким пленкам. |
Приоритеты выбора
- Определите требуемую чистоту, ограничиваемые элементы, содержание газов, качество поверхности, упаковку и метод очистки.
- Разделяйте поставку массивного металла и требования к мишеням для напыления, источникам испарения и осажденным пленкам.
- Контролируйте частицы, масла, отпечатки, состояние кромки, размерные допуски и вакуумную совместимость.
Типовые компоненты
- Материал для осаждения
- Заготовки под мишени
- Геттерные элементы
- Вакуумная оснастка
- Электрические контакты
- Прецизионные прокладки
Изучить подходящие продукты
Начните с категории продукции или отправьте чертеж, описание рабочей среды и стандарт материала для более предметного обсуждения.
Обсудить требования к материалам для полупроводниковой отрасли
Отправьте марку материала, форму продукции, размеры, рабочую среду, стандарт материала, чертеж и целевой объем для технической оценки и подготовки предложения.